文章目录

1 SPC系统在外延设备管理中的应用

2 SPC在设备管理过程中的具体应用

2.1 在线监控及异常判定

2.2 机台标准化管理

2.3 设备运行关键参数评价体系

3 结论

文章摘要:将SPC系统运用到外延设备管理过程,通过SPC系统中的管理工具,做到系统在线监测和在线判异,提升机台的标准化程度,保障产品的一致性。利用评判体系,优化设备参数,达到精细化管理的水平,提升机台的可靠性和稳定性。

文章关键词:

论文分类号:F273.4

文章来源：《系统管理学报》 网址: http://www.xtglxb.cn/qikandaodu/2022/0127/1079.html